重生千禧大玩家 第1099节 (第2/6页)

都是7nm制程工艺的芯片对吗？”

    陆飞点了下头，“没错，7nm是目前市面上最先进的制程工艺，不过根据摩尔定律，再过个一两年，就可能突破到5nm。”

    “5nm是不是就需要euv光刻机了？”

    郑韩好奇道。

    “有euv光刻机固然是好，只要一次曝光，一个光罩就能实现7nm、5nm，但没有euv光刻机也无妨，有这台duv浸润式光刻机也可以做到。”

    陆飞露出个看似轻松的笑容。

    “喔？”

    顷刻间，一众领导的目光齐聚于他。

    “梁博士想到的方案，如果把光刻机极限使用，经过6个光罩，9次曝光，也可以实现5nm工艺。”陆飞直截了当地回答。

    一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道：“光刻机这么极限使用，会不会影响到使用寿命？”

    “还有良率。”

    “是啊，经过这么多道曝光，任何一道工序失败，都可能满盘皆输，成本就上来了……”

    领导们来回分析，议论纷纷。

    陆飞只能一一回答，“损害寿命肯定会损害，良率低也肯定会低一些，成本自然也就会高一点，但这是没有办法的办法，目前euv光刻机国产化要实现彻底突破，还有不少技术难题摆在面前，需要时间去攻破。”

    “比如呢？”

    沙领导投去问询的目光。

    “光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台，现在双工作台已经解决了，光源问题也突破了，就剩下物镜系统。”

    陆飞直说道：“amsl、尼康的光刻机用的是蔡司的技术，但蔡司愿意卖给amsl、尼康，但绝对